加速度計是目前MEMS 技術商業化最成功的技術, 其他慣性器件, 如陀螺儀, 也開始大規模進入市場。

汽車工業。擁有提供讀取功能和自檢功能的集成電子設備, 其成本遠遠低于幾十年前的加速度計。        

MEMS 加速度計根據傳感原理不同分為電式容、壓阻式、電磁式、壓電式、鐵電式、光學式和隧道式。其中，電容式傳感器元件由于本身簡單, 對特殊材料沒有要求, 功耗低, 溫度穩定性好等特點成為最常用的類型。由于許多電容式傳感器相對位移非線性的電容特性, 因此要用傳感器中的反饋系統將信號轉換為線性輸出。輸出可以是模擬、數字、與電源電壓的比率, 也可以是任何類型的脈沖調制。當數據傳輸沒有進一步降低噪聲時, 具有數字輸出的傳感器非常方便。