物聯網(IoT)是把任何物品與互聯網連接起來，進行信息交換和通訊，以實現智能化識別、定位、跟蹤、監控和管理的一種網絡。簡而言之，物聯網就是“物物相連的互聯網”。傳感器作為物聯網三大層次結構之一的感知層的重要組成部分，將現實世界中的物理量、化學量、生物量等轉化成可供處理的數字信號，是實現物聯網的基礎和前提，同時MEMS(微機電)技術作為支撐技術，在物聯網的發展中起著至關重要的作用。

MEMS 的傳感器發展共經歷了三個階段，分別對應不同的驅動力。2000 年左右是汽車電子、2007 年左右是智能手機、2013 年左右是可穿戴設備，下一個驅動MEMS 的傳感器發展的動力是物聯網，業界預測全球傳感器需求有望從當前的百億級激增到2025年的Trillion-Sensor(TSensor，萬億-傳感器)量級。