使用的是兩個表面之間距離變化為基礎的簡單、穩定的靜電容量檢測原理。兩個表面的靜電容量（蓄電量）的距離根據重合部分的不同而不同。3D MEMS傳感器結構堅固、對慣性及壓力靈敏度高，但不會對其他的環境變化因素和故障原因產生反應。例如，將加速度傳感器及陀螺儀左右對稱放置，依據設計原理，可以提高穩定性、直線性、他軸靈敏度、振動靈敏度。

配合用途，加速度傳感器、陀螺儀的圧力傳感元件的靈敏度、測量范圍、響應頻率都可以進行調整。加速度傳感器及陀螺儀的平面及Z軸測量，可以實現3軸感知。陀螺儀可以用來檢測地球自轉這類微小信號，也可以追蹤人的手的移動這類大幅度運動的信號，用途廣泛。

使用SiP (System in Package)技術，將1個或多個感應元件放入信號處理電路中。結構非常堅固、高可靠性的膜制塑料封裝，常被用于汽車產品及工業產品。